ACT-3100A
亚微米级高自由度平面CT检测设备
分享
产品特点：
-
高清导航系统：可便捷实现产品精确定位
-
0.9μm开放式射线源：可实现微米级缺陷检测
-
高精度前后左右旋转系统：可实现产品多角度方向的高精度检测的需求
-
超大检测桌面可实现最大550mm*550mm的产品的缺陷检测
产品介绍：
ACT-3100A是工源三仟自主开发的针对晶圆级封装、板级封装在内的先进封装产品、TGV玻璃基板等大尺寸扁平产品进行进行快速高精度X-ray与CT扫描分析的CT设备，对标某进口品牌Q系列产品。工源三仟基于自研的高性能CT成像算法，可大幅降低扫描环节需要的投影数量，提高CT成像速度，结合定制化的晶圆/芯片搬运系统，可实现自动/半自动的检测。
|
类别
|
项目
|
参数
|
|
成像系统
|
CT系统分辨率
|
0.5μm/0.9μm
|
|
DR系统分辨率
|
0.25μm/0.45μm
|
|
|
检测模式
|
2D&2.5D&3D
|
|
|
软件
|
工源三仟自主研发软件（可根据不同需求定制）
Volume Graphic （选配）
|
|
|
射线源
|
Tube类型
|
开管
|
|
Tube电压
|
160kV
|
|
|
焦点尺寸
|
0.5μm/0.9μm
|
|
|
探测器
|
探测器类型
|
平板探测器
|
|
像素尺寸
|
49.8μm
|
|
|
像素矩阵
|
2340x2813
|
|
|
运动控制系统
|
检测范围
|
510mm*515mm(支持定制)
|
|
自动导航
|
记录特征点的位置坐标和参数，方便快速的移动到检测点
|
|
|
控制方式
|
鼠标、键盘、摇杆、软件
|
|
|
扫描运动方式
|
2 × 70° - 测试点360度环绕旋转检测
|
|
|
整机参数
|
尺寸
|
L:1591mm W:1560mm H:2012mm(不含三色灯，以实际设计为准)
|
|
重量
|
约 3500KG
|
|
|
功率
|
约 8kW（以实际设计为准）
|
